1.真空腔室:Φ350×H400mm;
2.真空极限:≤5.0×10-5Pa;
3.漏率:≤0.8Pa/h;
4.基片台尺寸:Φ100mm范围内可装卡各种规格基片;
真空指标:极限真空优于6.6×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
设备保压:停泵12小时候后,真空≤10Pa;
抽速:空载从大气抽至8.0×10-4Pa≤45min;
真空极限:≤8.0×10-5Pa;
设备保压:停泵12小时候后,设备真空度≤10Pa;可镀基片尺寸/面积:Φ100mm范围内可装卡各种规格基片;
抽速:从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min;
设备升压率:≤0.8Pa/h;
设备保压:停泵12小时候后,设备真空度≤10Pa;
极限真空:空载优于5.0×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
抽速:空载从大气抽至5.0×10-4Pa≤40min;
漏率:设备升压率≤0.8Pa/h;
极限真空:空载优于6.0×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
抽速:空载从大气抽至6.0×10-4Pa≤30min;
漏率:设备升压率≤0.8Pa/h;
控制方式:PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统;
真空炉体:Φ350×L550mm(内净尺寸),不锈钢双层水冷结构;
工件加热温度:采用内置钼加热器及多层不锈钢+钼桶热屏蔽层;
加热器材料:钼;
极限温度:≥1200℃;
温控精度:±3℃;
右电极:长度300mm;手动驱动推进电极前进,导轨导向;
控制方式:手动按钮控制方式;
真空腔室:Φ250mm×H350mm,304优质不锈钢真空腔室;
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150.255.5.* 中国海南联通网友 heshengda 于2019-04-11 05:49:55发表评论:
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66.249.72.* 美国Google网友 dciegbdn7263 于2020-07-20 14:01:49发表评论:
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5.45.207.* 俄罗斯网友 chpmcl6949 于2019-06-19 22:27:14发表评论:
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167.114.172.* 加拿大魁北克省博阿努瓦OVH数据中心网友 minghai 于2020-04-18 17:24:03发表评论:
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66.249.75.* 美国Google网友 haoransujiao 于2020-02-20 02:24:20发表评论:
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36.99.136.* 中国河南郑州市电信IDC机房网友 lebcl2684 于2020-01-09 20:03:36发表评论:
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106.12.142.* 中国广东广州市百度网讯电信节点网友 shuangfeng2019 于2019-08-09 21:27:01发表评论:
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176.9.111.* 德国法尔肯施泰因Hetzner网友 hongguanseo 于2019-07-13 21:11:16发表评论:
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216.244.66.* 美国加利福尼亚州洛杉矶Wowrack科技公司网友 hzgf5941 于2019-03-18 16:38:01发表评论:
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66.249.74.* 美国Google网友 ruifengjinshu 于2021-06-16 03:17:16发表评论:
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106.131.156.* 日本东京都千代田区KDDI通信公司网友 pyhl837 于2021-02-03 22:01:29发表评论:
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17.121.112.* 美国Apple网友 dcicl8698 于2019-06-08 22:56:42发表评论:
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17.121.114.* 美国Apple网友 xxsdft 于2020-12-04 17:43:45发表评论:
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182.61.144.* 中国北京驰骏网络科技有限公司网友 fuguigou 于2021-02-14 18:44:56发表评论:
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211.149.212.* 中国四川成都市成都西维数码科技有限公司四川电信成都光华互联网数据中心节点网友 kidsswimwear 于2021-07-25 02:49:31发表评论:
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